無塵高溫箱的使用方法與注意事項

Lab Companion 無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化jia、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無塵高溫箱是實驗輔助干燥設備之一，應用范圍廣泛，操作較復雜，因此，較一般烘箱有著更高的要求，使用過程中就有著更多需要注意的地方。

一、樣品放置

1、不可在烘箱加熱狀態下放置樣品，需在確保加熱關閉狀態下放置樣品；

2、放置樣品時，上下四周應留存一定空間，保持箱內氣流暢通；

3、若樣品在干燥過程中會產生相態變化，必須裝在托盤中，避免污染其他樣品；

4、任何液態溶劑以及真空狀態下燃點、沸點降低至150℃以下物品，嚴禁放入箱內。

二、關緊箱門

1、關閉時不可太用力，避免造成箱體大幅震動；

2、箱門上有螺栓，關閉時需確認箱門與硅膠密封條緊密結合。

三、加熱

1、加熱步驟必須在氣壓穩定狀態下進行，否則易導致內外壓強及溫度差，造成外部大氣沖入箱內等突發狀況；

2、升溫過程中，加熱指示燈長亮，達到設置溫度后，加熱自動停止，同時指示燈熄滅。待溫度低于設置溫度時，加熱再次啟動，加熱指示燈亮；

3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時關閉電源并聯系儀器負責人。

四、溫度設置

1、設置溫度不可超過額定溫度，真空下物料燃點、沸點驟降，設置溫度不合理會造成固態物料熔融結塊等現象；

2、數顯溫度需正常指示，若不顯示或出現閃爍、跳躍等異常需及時關閉電源并聯系儀器負責人；

3、操作人員需待實際溫度與設置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開；

4、為避免控溫失靈，需有專人定時查看儀器運行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發現異常需第D一時間關閉加熱、切斷電源、打開放氣閥門。

五、取樣

1、放氣時切勿將閥門一次開至zui大，避免外部氣流進入箱內時沖擊樣品，造成箱內及樣品間的污染；

2、由于長時間真空導致箱門密封硅橡膠變形而無法打開箱門時，不可強制開啟箱門，只需等待密封硅橡膠圈緩慢恢復原狀，即可打開箱門。

3、取樣完畢后，及時關閉放氣閥門。