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主要技术指标: 1) 常温空载极限真空度:优于8×10-5Pa(空载,常温20℃~30℃条件下,>10小时,放气率按超过10小时计算,否则达不到10-5Pa); 2) 常温空载情况下能够在4小时内将容器抽至优于5.0×10-4Pa。 3) 真空系统漏率:<5х10-9 Pa•m3/s; 4)热沉温度优于100K; 热沉达到100K稳定后,温度均匀性优于±5℃; 试件控制温度范围:-170℃~ +150℃; 被试件温度控制精度:±1℃(温度稳定下测量) 被试件温度变化速率:≥1℃/min(变化速率在验收试件上测量);升温从-70℃到+85℃全程平均,降温从+85℃到-70℃全程平均;