SEMI S2-0200火灾防护规范


SEMI S2-0200 第14节 Fire Proctection

SEMI S2-0200第14节－火灾防护，适用于设备内的火灾危害的保护，提供防火安全设计以及设备控制上最低的安全标准。内容有14.2风险评估（Risk Assessment）、14.3认证报告（Reporting）、14.4火灾风险降低（Fire Risk Reduction）、14.5警告和安全工作训练（Warnings and Safe Work Practices）、14.6火灾侦测及抑制系统的维修和测试（Maintenance and Testing of Fire Detection and Suppression Systems）、14.7环保（Environmental）等几部分。

在风险评估方面强调「一份风险评估的数据应该由合格的第三者执行(或判断)以确认火灾的潜在危害以及合适的控制方法。风险评估应该考虑设备内部正常操作及合理的可以预见的单一点失效。不考虑外部引火源的曝露。」，风险评估者需具有专业专门知识来从事火灾危害风险分析，其资格请看SEMI S7 。

而一份认证的报告应对每种辨识出的残存火灾危害，有以下的三个特性：1.被指出的严重性、2.被指出的可能性，3.风险分类的结果。此份报告可作为采购部门采购设备的规范依据之一。

火灾风险的降低可从几个方面着手：
1.      选用不可燃材料－设备的结构应用不可燃性材料所构成。如果制程化学物质不允许使用不燃性材料，那么设备的材料应该是合适使用并且与使用之化学物质兼容，使火灾的风险减至最轻。
2.      制程化学物质危害的消除－设计上应该考虑非易燃性制程化学物质来替换易燃性化学物质。
3.      利用工程控制－
a.    导因于设备材料的火灾危害可以经由工程控制的方式减轻（例如：将可燃性的材料与引火源用不可燃性的障碍隔间、安装灭火系统可以扑灭引火性物质。）
b.    火灾侦测及灭火系统应该与电源及化学物质供应保持连锁装置，以避免在消防侦测或是灭火系统闲置时预防启动设备。
c.    利用洁净室排烟可以用来减轻因为产品燃烧引起火灾的风险。减轻方法应该在火焰延烧时结合火警侦测及灭火系统。
4.      选用火灾侦测系统－
a.    火灾侦测器、警报及控制系统应该通过核可的测试实验室验证及合适的国际法规或是标准(如NFPA 72)来安装。
b.    火灾侦测系统应该有与厂房的警报系统相连接之接口。
c.    火灾侦测系统启动时应该在设备端发出可听到的声响及可见到的讯号。
d.    应该考虑火灾侦测系统的手动启动能力，使得警报可以传送至时常有人工作的场所。
e.    提供一个备用电源可以维持侦测系统操作24 小时。
f.    火灾侦测系统应该在EMO 启动时仍然维持功能。
g.    侦测系统内部电力供应不能提供延长维修时间全部供应电力时，设备供货商应提供不是移除火灾危害就是安全地供应电力给侦测系统的文件程序。
h.    火灾侦测系统启动应该在设备的最短时间之内允许设备可以安全的停机。包括停止任何火灾相关危害源（会对受影响的模块或组件产生额外的火灾风险）。
5.      选用火灾抑制系统－
a.    火灾抑制系统包括喷嘴、启动器及相关的控制设施，应该经过合格的测试实验室认证且其应用必须合适。抑制药剂的选择应该包括对于无尘室潜在的破坏的估算及选用破坏能力最小的药剂。药剂及供应系统应该依照合适的国际标准设计(例如：NFPA 12, NFPA 13, NFPA 2001)。
b.    设备上启动火灾抑制系统时，应该有可以听到及看见的警报，这也有可能是由同样的火警侦测系统启动。
c.    如果药剂释放可能对人有危险，警报发生时应该有足够的时间可以让人员避免药剂释放产生的危害。
d.    如果在设备内部有一个局限空间，应该在该工作场所标示灭火系统可能带来的缺氧风险。
e.    火灾抑制系统应该在EMO 启动时仍然维持功能。
f.    抑制系统内部电力供应不能提供延长维修时间全部供应电力时，设备供货商应提供不是移除火灾危害就是安全地供应电力给抑制系统的文件程序。
g.    提供一个备用电源可以维持抑制系统操作24 小时。
h.    火灾抑制系统应该有与厂房的警报系统相连接之接口。
i.    火灾抑制系统的启动应该使设备在最短的时间内停机，并且使得设备可以安全的停机。
j.    火灾抑制药剂管线应该由防止腐蚀组件构成，设计上减轻水在组件附近的累积或是其它促进腐蚀的情形，机械设计上容易执行检查；管线的安装及测试应确认其可以承受经常性的药剂释放的压力。

警告和安全工作训练方面，设备供货商应将火灾侦测及抑制系统的工作安全要求及警告成为提供文件的一部份。(例如：在火警侦测系统侦测的范围内使用明火的限制，在加压灭火设备储存之危害性能量)。

火灾侦测及抑制系统的维修和测试要求：
1.    设备供货商应该提供详细的每个设备的火灾侦测及抑制系统的维护及测试程序，包括测试频率。
2.    在无尘室内应该避免使用产生化学物质的测试设备(例如：罐装的生烟器)。
3.    维护测试程序应该包括与厂房接口的测试以及辨识设备上之所有的火灾侦测及抑制系统均能发挥功效。
4.    侦测及抑制系统在设计上应该可以藉由组件的维护保养使其成效不致降低(例如：产生侦测器的破坏)。
5.    设备供货商应该将药剂喷射时的噪音音压位准文件化。
6.    作为火灾侦测及抑制系统维护及测试的材料及程序不应该降低设备执行其功能的能力。

环保要求为「设备供应者应该提供使用者设备的火灾抑制药剂释放时造成影响的指引。」

总结
SEMI S2-0200火灾防护规范
前言
在半导体厂房洁净室里的意外事故统计上，以火灾发生的次数最多，也最为严重。火灾发生的原因很多，大部分都与制程设备有关，动辄数以亿计的设备在洁净室里处处皆是，火灾发生所造成的财物损失与商机中断，对公司的营运影响十分严重。因此厂商在采购设备时，如能满足SEMI S2-0200半导体制造设备安全卫生环保基准的要求，会将发生火灾的风险降至最低，其涵盖的内容相当的广泛，规范要求也很多，以下仅就第14节 火灾防护做介绍。设备火灾防护除了需要风险评估和文件报告外，也应考虑如何减轻风险。设备结构的材料应优先使用不可燃材质，其次是选择不能传播火焰的材质。这样的观念与SEMI S14（半导体制造设备火灾风险评估与减轻基准）和NFPA318（洁净室保护标准）相同，材料的选用是将火灾风险降至最低，其与制程化学物质兼容性，也极重要的。减轻结构材料的危害，可使用不可燃性材质的屏障，将点火源与可燃性材质隔离，当然也可使用火灾侦测与抑制系统。制程化学物质危害的减轻应考虑使用非易燃性化学品来取代易燃性化学品。使用工程控制方法来减轻风险，比如说连锁装置，当电力遽增或化学品溢散可能造成危害时，连锁应能在侦测系统或抑制系统不能正常运作时，防止上述危害发生。排烟系统将烟抽离洁净室也是另一种工程控制的方法。利用火灾侦测和抑制系统也是如此，但系统的组件应能适用在制程设备上，需经过核可的测试实验认证通过，且要按照合适的标准来安装并能与厂务系统连结。在维修时，或一个设备控制失效时，或紧急手动关闭按钮（EMO）按下时，要能维持正常运作。至于灭火动作可能对环境的危害也应在评估报告中提出。